氣動(dòng)量?jì)x通常由已知長(cháng)度部分、定位瞄準部分、放大細分部分、顯示記錄部分以及計算部分等組成。量?jì)x種類(lèi)繁多，按工作原理可分為:①機械式量?jì)x。如杠桿-齒輪式比較儀、扭簧比較儀和測微儀等。②光學(xué)量?jì)x。如測微自準直儀、測角比較儀、平直度檢查儀、立式光學(xué)計、臥式光學(xué)計、超級光學(xué)計、立式測長(cháng)儀、測長(cháng)儀、工具顯微鏡、投影儀、接觸式干涉儀、激光干涉儀、激光干涉比長(cháng)儀和光學(xué)分度頭等。③電動(dòng)量?jì)x。如電動(dòng)測微儀、靜態(tài)光電顯微鏡、動(dòng)態(tài)光電顯微鏡、光電準直光管、電感式比較儀、電容式比較儀、輪廓儀和圓度儀等。④氣動(dòng)量?jì)x。如低壓水柱式氣動(dòng)量?jì)x、差壓水柱式氣動(dòng)量?jì)x、差壓水銀柱式氣動(dòng)量?jì)x、高壓薄膜式氣動(dòng)量?jì)x、波紋管式氣動(dòng)量?jì)x和流量式氣動(dòng)量?jì)x(浮標式氣動(dòng)量?jì)x)等。另外，量?jì)x也可按用途等進(jìn)行分類(lèi)。氣動(dòng)量?jì)x精度評定方法主要有檢定法、比對法和誤差分離法等。
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